电子级水(GB/T11446.1-2013)

项目

技术指标

 

EW-I

EW-II

EW-III

EW-IV

 

电阻率(25℃)/(MΩ·cm)

≥18(5%时间不低于17)

≥15(5%时间不低于13)

≥12

≥0.5

 
 

全硅/(μg/L)

≤2

≤10

≤50

≤1000

 

微粒数/(个/L)

0.05μm-0.1μm

500

 

0.1μm-0.2μm

300

 

0.2μm-0.3μm

50

 

0.3μm-0.5μm

20

 

>0.5μm

4

 

细菌个数/(个/mL)

≤0.01

≤0.1

≤10

≤100

 

铜/(μg/L)

≤0.2

≤1

≤2

≤500

 

锌/(μg/L)

≤0.2

≤1

≤5

≤500

 

镍/(μg/L)

≤0.1

≤1

≤2

≤500

 

钠/(μg/L)

≤0.5

≤2

≤5

≤1000

 

钾/(μg/L)

≤0.5

≤2

≤5

≤500

 

铁/(μg/L)

≤0.1

 

铅/(μg/L)

≤0.1

 

氟/(μg/L)

≤1

 

氯/(μg/L)

≤1

≤1

≤10

≤1000

 

亚硝酸根/(μg/L)

≤1

 

溴/(μg/L)

≤1

 

硝酸根/(μg/L)

≤1

≤1

≤5

≤500

 

磷酸根/(μg/L)

≤1

≤1

≤5

≤500

 

硫酸根/(μg/L)

≤1

≤1

≤5

≤500

 

总有机碳/(μg/L)

≤20

≤100

≤200

≤1000