电子级水（GB/T11446.1-2013）

项目

技术指标

EW-I

EW-II

EW-III

EW-IV

电阻率（25℃）/(MΩ·cm)

≥18*
（5%时间不低于17）

≥15**
（5%时间不低于13）

≥12

≥0.5

全硅/(μg/L)

≤2

≤10

≤50

≤1000

微粒数/(个/L)

0.05μm-0.1μm

500

—

—

—

0.1μm-0.2μm

300

—

—

—

0.2μm-0.3μm

50

—

—

—

0.3μm-0.5μm

20

—

—

—

＞0.5μm

4

—

—

—

细菌个数/(个/mL)

≤0.01

≤0.1

≤10

≤100

铜/(μg/L)

≤0.2

≤1

≤2

≤500

锌/(μg/L)

≤0.2

≤1

≤5

≤500

镍/(μg/L)

≤0.1

≤1

≤2

≤500

钠/(μg/L)

≤0.5

≤2

≤5

≤1000

钾/(μg/L)

≤0.5

≤2

≤5

≤500

铁/(μg/L)

≤0.1

—

—

—

铅/(μg/L)

≤0.1

—

—

—

氟/(μg/L)

≤1

—

—

—

氯/(μg/L)

≤1

≤1

≤10

≤1000

亚硝酸根/(μg/L)

≤1

—

—

—

溴/(μg/L)

≤1

—

—

—

硝酸根/(μg/L)

≤1

≤1

≤5

≤500

磷酸根/(μg/L)

≤1

≤1

≤5

≤500

硫酸根/(μg/L)

≤1

≤1

≤5

≤500

总有机碳/(μg/L)

≤20

≤100

≤200

≤1000